HV-PS8 維修服務｜KYOSAN 高壓電源模組故障檢修

常見故障現象

HV-PS8 為 KYOSAN（京三製作所）出品的高壓直流電源模組，廣泛應用於半導體製程、CVD／PVD 設備、離子注入與真空系統中，特別常見於 Tokyo Electron（TEL） 設備上。其常見故障狀況包括：

• 上電無反應、高壓輸出異常（無電壓或過壓）
• 運轉數分鐘後自動保護斷電
• 控制端介面無通訊、無法觸發
• 高壓輸出端放電異常，有打火或噪音
• 內部電容鼓脹、濾波模組老化
• 驅動板過熱、功率模組短路

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🔍 維修案例分享【案例編號：KY-HVPS8-001】

故障描述：
設備正常運作數分鐘後突跳電，HV-PS8 模組不再輸出高壓，外觀無異常但輸出為 0 V，機台報 alarm。

檢測結果：

• 主電容 ESR 偏高，充電效率下降
• 驅動電路板溫升過高，穩壓失控
• 高壓變壓器與整流級間有漏電徵兆
• 控制端 PWM 信號異常，無法觸發 MOSFET 開關

維修處理：

• 更換主電容、高壓整流模組與放電電阻
• 驅動板重新焊接並清除碳化區域
• 修復高壓變壓器介電破損區域，補強絕緣
• 驗證高壓輸出穩定性與控制端觸發反應

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📊 維修前後對比

項目	維修前狀況	維修後結果
高壓輸出	無電壓或間歇性掉電	穩定輸出高壓（達規格範圍）
運轉穩定性	運行後數分鐘跳保護	長時間持續運轉無異常
控制訊號反應	無觸發反應，通訊失效	PWM 驅動正常，控制介面穩定通訊
電容健康狀態	ESR 偏高、部分已漏液	電容更新，全模組充電效率恢復

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💡 我們的優勢

✔️ 專修 KYOSAN 高壓電源模組（HV-PS8 / PS7 / PS3 系列）
✔️ 可處理高壓放電異常、整流級故障、控制板無觸發等問題
✔️ 提供主電容、MOSFET、變壓器與保護電路晶片級維修
✔️ 出貨前附高壓穩定性測試報告與示波波形截圖
✔️ 提供 6 個月功能保固與原位替換指導

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