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故📌 常見故障現象
ASYST 型號 9701-1059-02A 為半導體前段自動化系統中的標準 Load Port 模組,常用於 200mm / 300mm FOUP 操作設備,常見故障包含:
🔍 維修案例分享【案例編號:ASYST-LP9701-202405】
故障描述:
客戶反映 Load Port 上電正常,但 FOUP 放置後未偵測成功,導致無法啟動開門機構,控制器顯示 “Cassette not detected”。
檢測結果:
維修處理:
📊 維修前後對比
| 項目 | 維修前 | 維修後 |
|---|---|---|
| FOUP 偵測 | 無法偵測/誤判 | 放置即偵測、動作準確 |
| 開門機構動作 | 卡住不動/異音 | 開關流暢、無卡頓 |
| 通訊狀態 | 主控無法連線 | RS232 回應穩定 |
| 啟動流程 | 中斷、判定錯誤 | 成功啟動、流程自動進行 |
💡 我們的優勢
✔️ 熟悉 ASYST Load Port 機構與 SmartComm、Sensor 區分模組架構
✔️ 可修復控制板、馬達驅動、Sensor 與通訊同步問題
✔️ 提供完整模擬測試流程與訊號檢測
✔️ 維修完成後提供 6 個月保固與功能測試報告
✔️ 可協助搭配 I/O board、EFEM 介面板等同步檢修
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若您也遇到 ASYST 9701-1059-02A Load Port 偵測異常、開門失敗或無法通訊等問題,歡迎與我們聯繫,我們將儘速為您安排檢測與維修服務。
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